臺式掃描電鏡早在1935年便已經被提出來了。1942年，英國首先制成一臺實驗室用的掃描電鏡，但由于成像的分辨率很差，照相時間太長，所以實用價值不大。經過各國科學工作者的 努力，尤其是隨著電子工業技術水平的不斷發展，到1956年開始生產商品掃描電鏡。現在掃描電鏡已廣泛用于材料科學（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害（火災、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。
掃描電鏡的特點：
（1）能夠直接觀察樣品表面的結構，樣品的尺寸可大至120mm*80mm*50mm。
（2） 樣品的制備過程簡單，不用切成薄片。
（3） 樣品可以在樣品室中作三維空間的平移和旋轉，因此可以從各種角度對樣品進行觀察。
（4） 景深大，圖像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。
（5） 圖像的放大范圍廣，分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間，可達3nm。
（6） 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
（7） 能夠進行動態觀察（如動態拉伸、壓縮、彎曲、升降溫等）。
（8） 在觀察形貌的同時，還可利用從樣品發出的其他信號做微區成分及晶體學分析。
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